发明授权
- 专利标题： 一种环形内沟槽结构馈源的制作方法
-
申请号： CN201911233705.7申请日： 2019-12-05
-
公开(公告)号： CN110911843B公开(公告)日： 2021-08-31
- 发明人: 曹江涛 , 李东升 , 牛传峰 , 梁谦 , 李吉康 , 高扬 , 邢建勋 , 陈慧全 , 孙琪 , 赵均红
- 申请人： 中国电子科技集团公司第五十四研究所
- 申请人地址： 河北省石家庄市中山西路589号天伺部
- 专利权人： 中国电子科技集团公司第五十四研究所
- 当前专利权人： 中国电子科技集团公司第五十四研究所
- 当前专利权人地址： 河北省石家庄市中山西路589号天伺部
- 代理机构： 河北东尚律师事务所
- 代理商 王文庆
- 主分类号： H01Q13/02
- IPC分类号： H01Q13/02
摘要：
本发明涉及一种环形内沟槽结构馈源的制作方法，采用了分体制备，搭配热配装的解决了，环形内沟槽制作成本高，経度差的难题，本发明思路新颖，工艺成熟，易于实施，精度高，成本低，有效的实现了一种环形内沟槽结构馈源的制作，是对现有技术的一种重要改进。
公开/授权文献
- CN110911843A 一种环形内沟槽结构馈源的制作方法 公开/授权日：2020-03-24
