发明公开
CN110923714A 一种用于钛箔微孔图形的蚀刻液及蚀刻方法
无效 - 驳回
- 专利标题: 一种用于钛箔微孔图形的蚀刻液及蚀刻方法
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申请号: CN201910915711.4申请日: 2019-09-26
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公开(公告)号: CN110923714A公开(公告)日: 2020-03-27
- 发明人: 任忠平 , 尹国钦 , 陈绍文
- 申请人: 宁波福至新材料有限公司
- 申请人地址: 浙江省宁波市北仑区新碶明州西路491号1幢1号厂房37
- 专利权人: 宁波福至新材料有限公司
- 当前专利权人: 宁波福至新材料有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省宁波市北仑区新碶明州西路491号1幢1号厂房37
- 代理机构: 上海泰能知识产权代理事务所
- 代理商 黄志达; 魏峯
- 主分类号: C23F1/26
- IPC分类号: C23F1/26 ; C23F1/02
摘要:
本发明涉及一种用于钛箔微孔图形的蚀刻液及蚀刻方法,蚀刻液按体积分数,由以下组分组成:氢氟酸3%~8%,盐酸7%~8%,过氧化氢2%~6%,余量为水。本发明采用氢氟酸、盐酸和过氧化氢作为蚀刻液的组成成分,在生产条件下对钛蚀刻的同时也可以对钛合金中的铁、钼、锆进行氧化反应,释放能量,减少能耗,不需要额外加热,可以直接蚀刻出不同形状和结构的 钛箔微孔图形;蚀刻方法成本低,具有广泛实用价值。