发明授权
- 专利标题： 基于聚酰亚胺的湿度传感器及其制备方法
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申请号： CN201911286179.0申请日： 2019-12-13
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公开(公告)号： CN110927224B公开(公告)日： 2021-07-23
- 发明人: 王超 , 方华斌 , 付博 , 李向光
- 申请人： 潍坊歌尔微电子有限公司
- 申请人地址： 山东省潍坊市潍坊高新区新城街道蓉花社区蓉花路102号歌尔二期工业园10号楼
- 专利权人： 潍坊歌尔微电子有限公司
- 当前专利权人： 潍坊歌尔微电子有限公司
- 当前专利权人地址： 山东省潍坊市潍坊高新区新城街道蓉花社区蓉花路102号歌尔二期工业园10号楼
- 代理机构： 深圳市世纪恒程知识产权代理事务所
- 代理商 胡海国
- 主分类号： G01N27/22
- IPC分类号： G01N27/22 ; D01F6/74
摘要：
本发明公开了一种基于聚酰亚胺的湿度传感器及其制备方法，基于聚酰亚胺的湿度传感器包括衬底、第一氧化层、下电极、第二氧化层、介质层和上电极；其中，所述介质层的材质为聚酰亚胺纳米纤维。所述基于聚酰亚胺的湿度传感器具有检测精度高、器件尺寸小的特点。
公开/授权文献
- CN110927224A 基于聚酰亚胺的湿度传感器及其制备方法 公开/授权日：2020-03-27
