本发明提供将吸附于静电吸盘的第1被吸附体和第2被吸附体良好地从静电吸盘分离的静电吸盘系统、成膜装置、被吸附体分离方法、成膜方法及电子器件的制造方法。本发明的静电吸盘系统的特征在于，该静电吸盘系统包括：静电吸盘，包括多个电极部；电压施加部，用于对所述静电吸盘的所述电极部施加电压；以及电压控制部，用于控制基于所述电压施加部的电压施加，所述电压控制部对所述电压施加部进行控制，以对吸附有第1被吸附体并隔着所述第1被吸附体吸附有第2被吸附体的所述静电吸盘的所述多个电极部分别独立地施加用于使所述第2被吸附体从所述第1被吸附体分离的第1分离电压。