发明授权
- 专利标题: 灵敏度可调节的谐振微型电场传感器
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申请号: CN201911211349.9申请日: 2019-11-29
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公开(公告)号: CN110940866B公开(公告)日: 2020-11-20
- 发明人: 彭春荣 , 修日 , 毋正伟 , 任仁 , 夏善红
- 申请人: 中国科学院电子学研究所
- 申请人地址: 北京市海淀区北四环西路19号
- 专利权人: 中国科学院电子学研究所
- 当前专利权人: 中国科学院电子学研究所
- 当前专利权人地址: 北京市海淀区北四环西路19号
- 代理机构: 中科专利商标代理有限责任公司
- 代理商 吴梦圆
- 主分类号: G01R29/12
- IPC分类号: G01R29/12 ; G01R29/08
摘要:
本公开提供了一种灵敏度可调节的谐振微型电场传感器,包括衬底、支撑梁、电场引入单元、微杠杆结构、谐振单元、激励电极、振动检测电极和调谐电极;电场引入单元包括:电场感应电极、电场输入电极、电场偏置电极和驱动结构;微杠杆结构包括杠杆梁、施力梁和受力梁;谐振单元包括多个谐振结构,且顺次排列呈对称结构;激励电极驱动谐振单元;振动检测电极对谐振单元产生振动的振动幅度进行检测。本公开在保证传感器输出信号强度在合理范围基础上,结合微杠杠结构,实现高灵敏、宽频带、大动态范围的电场测量,具有线性度好等优点。
公开/授权文献
- CN110940866A 灵敏度可调节的谐振微型电场传感器 公开/授权日:2020-03-31