灵敏度可调节的谐振微型电场传感器
摘要:
本公开提供了一种灵敏度可调节的谐振微型电场传感器,包括衬底、支撑梁、电场引入单元、微杠杆结构、谐振单元、激励电极、振动检测电极和调谐电极;电场引入单元包括:电场感应电极、电场输入电极、电场偏置电极和驱动结构;微杠杆结构包括杠杆梁、施力梁和受力梁;谐振单元包括多个谐振结构,且顺次排列呈对称结构;激励电极驱动谐振单元;振动检测电极对谐振单元产生振动的振动幅度进行检测。本公开在保证传感器输出信号强度在合理范围基础上,结合微杠杠结构,实现高灵敏、宽频带、大动态范围的电场测量,具有线性度好等优点。
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