本发明涉及一种微缺陷诱导的电致变色智能玻璃复合膜组及其制备方法，其特征在于：在FTO或ITO导电玻璃基底的FTO或ITO面上依次设有WO3层、电解质层、NiO层、电极层；其中WO3层和NiO层内均嵌有SiO2纳米微球；电解质层为LixGayO或者LixNbyO层；电极层为ITO层。本发明有益效果：通过在变色层中内嵌SiO2纳米粒子作为微缺陷，微缺陷纳米球与变色层会形成界面缺陷，促进电致变色过程中离子在微缺陷界面处的诱导聚集，达到提升薄膜变色效率的目的，包括着色时间的加快，光调制幅度的增大、提高变色均匀性等；采用一种常温溅射制备ITO电极层的方法，本方法通过常温溅射制备ITO薄膜在保证了薄膜性能的同时，避免了加热对膜系变色层、电解质层带来的可能的影响。