本发明公开了一种硅烷热解法制备乙硅烷和丙硅烷的系统及其方法，特点是包括依次连接的原料加热器、硅烷热解反应器、换热与压缩系统、氢气分离器、硅烷粗分离器、硅烷分离塔、乙硅烷粗分离器和乙硅烷分离塔，氢气分离器的气相出口、硅烷粗分离器的气相出口和硅烷分离塔的气相出口分别与换热与压缩系统的壳程进口连接，换热与压缩系统的壳程出口与原料加热器进口连接，乙硅烷粗分离器的顶部气相出口和乙硅烷分离塔的顶部气相出口分别与外部乙硅烷储罐连接，乙硅烷分离塔的底部液相出口与外部丙硅烷储罐连接，优点是转化效率好且产品纯度高。