披露了用于半导体器件的电子束检测设备和电子束检测组件。电子束检测设备包括：工作台，以顶面承载所述半导体器件且能够沿正交的两方向平移；瞄准装置，采集所述半导体器件的图像来确定所述半导体器件在所述电子束检测设备的坐标系中的位置，且具备第一视场和第一光轴；电子束检测装置，向所述半导体器件投射电子束和检测从所述半导体器件出射的电子束，且具备第二视场和与所述第一光轴不叠合的第二光轴；和反射装置，将所述半导体器件的待测区域反射成像到所述瞄准装置内；所述第一视场利用所述反射装置的反射而投影到所述顶面上的第一可视区域，所述第二视场沿着所述电子束的光路投影到所述顶面上的第二可视区域。