偏振片、光学设备和偏振片的制备方法
Abstract:
本发明涉及偏振片,该偏振片是具有线栅结构的偏振片,具备透明基板、和在所述透明基板上的第1方向延伸且以比使用波段的光的波长短的间距周期性地排列的多个凸部,所述凸部具备反射层、多层膜、和位于所述反射层与所述多层膜之间的光学特性改善层,所述光学特性改善层含有氧化物,所述氧化物含有构成所述反射层的构成元素,所述光学特性改善层相对于氯系气体的蚀刻速率为所述多层膜的蚀刻速率的6.7倍以上且15倍以下。
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