发明授权
- 专利标题: 流体供给装置和流体供给方法
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申请号: CN201880051985.7申请日: 2018-07-31
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公开(公告)号: CN110998801B公开(公告)日: 2023-10-31
- 发明人: 吉田俊英 , 皆见幸男 , 篠原努
- 申请人: 株式会社富士金 , 东京毅力科创株式会社
- 申请人地址: 日本大阪府;
- 专利权人: 株式会社富士金,东京毅力科创株式会社
- 当前专利权人: 株式会社富士金,东京毅力科创株式会社
- 当前专利权人地址: 日本大阪府;
- 代理机构: 北京林达刘知识产权代理事务所
- 代理商 刘新宇; 张会华
- 国际申请: PCT/JP2018/028601 2018.07.31
- 国际公布: WO2019/031303 JA 2019.02.14
- 进入国家日期: 2020-02-10
- 主分类号: H01L21/304
- IPC分类号: H01L21/304 ; H01L21/027
摘要:
提供一种能够稳定地供给超临界流体的流体供给装置和流体供给方法。该流体供给装置是用于朝向处理室供给向超临界流体变化之前的液态的流体的流体供给装置,该流体供给装置具有:冷凝器(130),其用于使气态的流体冷凝液化;贮存器(140),其用于贮存利用冷凝器(130)冷凝液化而成的流体;泵(150),其用于朝向处理室(500)加压输送被贮存于贮存器(140)的液化而成的流体;以及加热部件(20),其设于与泵(150)的喷出侧连通的流路,用于使该流路内的液体部分地成为超临界流体。
公开/授权文献
- CN110998801A 流体供给装置和流体供给方法 公开/授权日:2020-04-10