本发明公开了一种硅料清洗方法，包括以下步骤：(1)向硅料中加入液碱，搅拌3～5min；(2)过粗目筛，得第一碱洗硅料和第一碱余液，再对所述第一碱余液过细目筛，得第二碱余液；(3)将所述第二碱余液加入所述第一碱洗硅料中，加热至30℃，执行第一超声清洗；(4)向所述第二碱余液中加入硫酸钠，加热至80～90℃，加热过程中持续执行第二超声清洗；(5)向所述第二碱余液中持续注入水，并同时排出的液体，该过程中持续执行第三超声清洗，得第二碱洗硅料。本发明将碱液配合硫酸钠，执行多次超声清洗，且第三超声清洗的同时进行注水和排水，提高了清洗效果；碱液为重复利用，减低了碱液的使用量，节约了清洗成本。