发明授权
- 专利标题: 一种硅颗粒作为形核源高效坩埚的制备方法
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申请号: CN201911343980.4申请日: 2019-12-24
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公开(公告)号: CN111020696B公开(公告)日: 2021-10-22
- 发明人: 季勇升 , 刘明权
- 申请人: 江苏润弛太阳能材料科技有限公司
- 申请人地址: 江苏省镇江市扬中市长旺新材料工业园区
- 专利权人: 江苏润弛太阳能材料科技有限公司
- 当前专利权人: 浙江润优新材料科技有限公司
- 当前专利权人地址: 321299 浙江省金华市武义县经济开发区武江大道316号综合体一号楼电商服务中心308
- 代理机构: 镇江京科专利商标代理有限公司
- 代理商 朱坤保
- 主分类号: C30B28/06
- IPC分类号: C30B28/06 ; C30B29/06 ; C04B35/14 ; C04B41/89
摘要:
本发明提供了一种硅颗粒作为形核源的坩埚制备方法,其特征在于,包括以下步骤:S1:在坩埚表面制备高纯度石英砂涂层,且所述高纯度石英砂中SO2质量分数≥99.999%;S2:在所述高纯度石英砂涂层表面制备氮化硅涂层;S3:在所述氮化硅涂层表面制备陶瓷胶涂层;S4:在所述陶瓷胶涂层表面制备硅颗粒涂层。本发明利用高纯度硅颗粒作为形核源,铸锭过程采用同质形核方式制备了全熔高效多晶硅片,大幅降低了喷涂和铸锭工艺技术要求,获得了具有均匀细小晶花的高效硅锭,避免晶粒尺寸分布不均匀、位错密度高的问题。
公开/授权文献
- CN111020696A 一种硅颗粒作为形核源高效坩埚的制备方法 公开/授权日:2020-04-17