一种聚焦离子束加工金属基硬质涂层透射电镜原位力学试样的方法，本发明涉及透射电镜原位力学试样的制备方法。本发明要解决现有目前常用的透射电镜原位力学测试系统无法实现最佳的衍射分析条件和获得最佳的衍射结果，常用的透射电镜制样技术在透射电镜原位力学测试系统中无法准确分析金属基硬质涂层材料在原位力学测试过程中变形和断裂问题。方法：一、预处理；二、电化学抛光处理；三、扫描电镜观察；四、聚焦离子束加工；五、铜支架加工，即完成聚焦离子束加工金属基硬质涂层透射电镜原位力学试样的方法。