发明公开
- 专利标题: 单一芯片全桥TMR磁场传感器
-
申请号: CN202010010607.3申请日: 2020-01-06
-
公开(公告)号: CN111044953A公开(公告)日: 2020-04-21
- 发明人: 刘明 , 关蒙萌 , 胡忠强 , 周子尧 , 朱家训 , 黄豪
- 申请人: 珠海多创科技有限公司
- 申请人地址: 广东省珠海市高新区唐家湾镇科技七路1号4栋5-B单元
- 专利权人: 珠海多创科技有限公司
- 当前专利权人: 珠海多创科技有限公司
- 当前专利权人地址: 广东省珠海市高新区唐家湾镇科技七路1号4栋5-B单元
- 代理机构: 广东朗乾律师事务所
- 代理商 杨焕军
- 主分类号: G01R33/09
- IPC分类号: G01R33/09
摘要:
单一芯片全桥TMR磁场传感器,包括:磁电阻元件及偏置电流支路,所述磁电阻元件桥式连接形成全桥结构;所述磁电阻元件包括自由层、钉扎层及偏置电流层,所述偏置电流层与所述偏置电流支路相连,所述偏置电流支路向所述偏置电流层输入偏置电流;位于相邻桥臂上的磁电阻元件中偏置电流层内电流的方向相反,位于相对桥臂上磁电阻元件中偏置电流层内电流的方向相同。本发明在磁电阻元件中设置偏置电流层,利用偏置电流层改变磁电阻元件中自由层的磁化方向,实现对外部磁场的敏感相应,本发明的磁场传感器可以一次性在单一芯片上形成全桥结构,大大降低了单一芯片全桥磁传感器制备工艺的难度和生产成本。