单一芯片全桥TMR磁场传感器
摘要:
单一芯片全桥TMR磁场传感器,包括:磁电阻元件及偏置电流支路,所述磁电阻元件桥式连接形成全桥结构;所述磁电阻元件包括自由层、钉扎层及偏置电流层,所述偏置电流层与所述偏置电流支路相连,所述偏置电流支路向所述偏置电流层输入偏置电流;位于相邻桥臂上的磁电阻元件中偏置电流层内电流的方向相反,位于相对桥臂上磁电阻元件中偏置电流层内电流的方向相同。本发明在磁电阻元件中设置偏置电流层,利用偏置电流层改变磁电阻元件中自由层的磁化方向,实现对外部磁场的敏感相应,本发明的磁场传感器可以一次性在单一芯片上形成全桥结构,大大降低了单一芯片全桥磁传感器制备工艺的难度和生产成本。
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