用于电子器件的测试设备的接合元件及相应的制造方法
摘要:
一种用于电子器件的测试设备的接合元件(20),包括设置有多个贯通开口(22)的至少一个支撑件(21),所述多个贯通开口(22)容纳有各自的互连元件(23),所述互连元件(23)在第一端(23a)和第二端(23b)之间延伸。适当地,所述互连元件(23)由填充所述支撑件(21)的所述开口(22)的导电弹性体制成,各个互连元件(23)在所述支撑件(21)的不同且相对的面(Fa,Fb)之间形成导电通道。
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