发明公开
- 专利标题： 一种新型阴极电弧的颗粒过滤器
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申请号： CN201911382889.3申请日： 2019-12-27
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公开(公告)号： CN111074215A公开(公告)日： 2020-04-28
- 发明人: 胡琅 , 胡强 , 侯立涛 , 冯杰 , 徐平 , 方威 , 黄星星 , 黄丽玲
- 申请人： 季华实验室
- 申请人地址： 广东省佛山市南海区桂城南平西路13号承业大厦13楼
- 专利权人： 季华实验室
- 当前专利权人： 季华实验室
- 当前专利权人地址： 广东省佛山市南海区桂城南平西路13号承业大厦13楼
- 代理机构： 佛山市海融科创知识产权代理事务所
- 代理商 陈志超; 黄家豪
- 主分类号： C23C14/32
- IPC分类号： C23C14/32
摘要：
本发明提供了一种新型阴极电弧的颗粒过滤器，包括管体，以及套设在管体外的螺线管或多个磁场线圈；还包括设置在管体内的挡环机构；所述挡环机构包括多个沿管体轴线方向排布的挡环，挡环与管体的轴线垂直，挡环具有供阴极电弧穿过的内孔，从前到后，挡环的内孔直径先逐渐减小后逐渐增大。该颗粒过滤器对宏观粒子的过滤能力强。
公开/授权文献
- CN111074215B 一种新型阴极电弧的颗粒过滤器 公开/授权日：2021-07-02
IPC分类:
