陶瓷压力传感器
摘要:
本发明提供了一种陶瓷压力传感器(1),该陶瓷压力传感器包括陶瓷体(2)和由该陶瓷体(2)支撑的电子电路(3a,3b,3c),该陶瓷体(2)包括由陶瓷材料制成的柔性膜(4),该柔性膜能够由于要感测的压力而变形,以及由陶瓷材料制成的刚性支撑件(5),该刚性支撑件用于支撑该柔性膜(4),该电子电路(3a,3b,3c)被配置为根据该柔性膜(4)的该变形而生成电信号,还设置了由陶瓷材料制成的保护元件(6),该保护元件永久性地接合到该陶瓷体(2),该保护元件(6)与该陶瓷体一起界定用于容纳该电子电路(3a,3b,3c)的至少一部分的容纳室(7),该容纳室(7)具有用于将该电子电路(3a,3b,3c)的该部分与该容纳室(7)的外部连接起来的电连接装置(8)。
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