一种痕量溶解三元混合气体标准溶液的制作系统及方法
摘要:
本发明实施例公开了一种痕量溶解三元混合气体标准溶液的制作系统,包括定比例气体输送单元;对定比例气体输送单元供给的组分气和载气进行混合,后得到中间气体的混气单元;用于提供高纯清洗水和喷洒原液的供液单元;以及将所述中间气体在定温密封环境下进行体积和气体压力的标定以获得目标气体,并在定温密封环境下进行原液体积的标定以获得目标液体,再将目标气体和目标液体进行持续的搅拌混合,得到标准溶液,并将标准溶液动态的排出的气液混合器,高精度的质量流量控制器控制气体的质量流量,由多重混合方式使气体和溶液达到充分混匀,最终输出不受温压条件的影响,不产生任何对环境有害的废气或废液的动态标准溶液。
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