基于晶体在富氧气氛中生长的三管燃烧器
摘要:
一种基于晶体在富氧气氛中生长的三管燃烧器,属于燃烧器技术领域。包括依次套置的三个管件及套置在最外侧管件端部的连接件,所述最内侧管件的喷头端部连接内氧喷嘴,最内侧管件另一端连通氧气;在最内侧管件的内氧喷嘴端和中间管件间形成氢气通道,在中间管件和最外侧管件间形成外氧通道,该外氧通道连通氧气;所述连接件套置在内氧喷嘴上,并置于晶体生长室顶部,连接件上与各通道连接端分别对应开有多个通孔,由内氧喷嘴至外分别形成氢气喷嘴及外氧喷嘴,各个喷嘴喷出的气体喷入晶体生长室,保证晶体熔体及其生长界面处于富氧气氛当中,并能够有效促使氢气和内氧充分燃烧并加热内氧。
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