- 专利标题: 一种基于扇出型封装工艺的芯片封装方法及芯片封装结构
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申请号: CN201911379301.9申请日: 2019-12-27
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公开(公告)号: CN111128760B公开(公告)日: 2020-09-15
- 发明人: 崔成强 , 杨冠南 , 匡自亮 , 徐广东 , 王鹏宇 , 陈新
- 申请人: 广东工业大学
- 申请人地址: 广东省广州市越秀区东风东路729号
- 专利权人: 广东工业大学
- 当前专利权人: 广东工业大学
- 当前专利权人地址: 广东省广州市越秀区东风东路729号
- 代理机构: 佛山市禾才知识产权代理有限公司
- 代理商 资凯亮; 刘颖
- 主分类号: H01L21/50
- IPC分类号: H01L21/50 ; H01L21/56 ; H01L21/60 ; H01L23/31
摘要:
本发明涉及集成电路封装技术领域,特别是一种基于扇出型封装工艺的芯片封装方法及芯片封装结构,所述芯片封装方法不使用临时键合胶,直接在基板上方设置介电层,芯片直接热压如介电层后可快速完成注塑固化工序,达到减少了封装的工序,减少了芯片的漂移;此外,所述芯片封装方法在基板和介电层之间增设了特殊材料的隔离层,有利于基板后续与固化芯片结构分离,同时因为介电层与隔离层结合力不高,介电层及介电层以上的芯片封装结构在封装固化时可以灵活的固化封装,不会出现内部应力不均的现象,能降低了芯片封装结构内部应力,也有利于避免出现翘曲的现象,提高了芯片封装结构的封装效率和质量。
公开/授权文献
- CN111128760A 一种基于扇出型封装工艺的芯片封装方法及芯片封装结构 公开/授权日:2020-05-08
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