本发明涉及一种三氯氢硅生产用废气处理装置及方法，其包括淋洗塔，淋洗塔侧端设有进气管，上端设有出气口，下端设置有出水管，通过出水管连接刮沫池，淋洗塔的内部设有多个喷淋装置，刮沫池的侧端设有清液池，下端设置有污泥管，刮沫池和清液池之间设有滤网，清液池内设有清液管，清液管通过进液管与喷淋装置连通，清液管上设有增压泵，污泥管通过污泥泵与污泥槽连接，污泥槽内设有搅拌装置，下端连接有板框压滤机，板框压滤机的液相出口经过滤器与集水槽连接，集水槽的下端设有管a和管b，其中管a通过加压泵a与清液池连接，管b通过加压泵b与三效蒸发系统连接；本发明具有结构合理、使用效果好且可对水资源进行循环利用的优点。