发明授权
- 专利标题: 一种蚀刻设备的精密温控系统
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申请号: CN201911354497.6申请日: 2019-12-25
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公开(公告)号: CN111176345B公开(公告)日: 2021-03-26
- 发明人: 沈灏
- 申请人: 绍兴华立电子有限公司
- 申请人地址: 浙江省绍兴市袍江工业区洋江东路35号绍兴华立电子有限公司
- 专利权人: 绍兴华立电子有限公司
- 当前专利权人: 绍兴华立电子有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省绍兴市袍江工业区洋江东路35号绍兴华立电子有限公司
- 代理机构: 绍兴越牛专利代理事务所
- 代理商 王剑
- 主分类号: G05D23/19
- IPC分类号: G05D23/19
摘要:
本发明公开了一种蚀刻设备的精密温控系统,包括机体,所述机体的上方左侧固定连接有控水装置,所述控水装置的输出端连接有进水管,所述控水装置的输入端通过皮带与第一传送带的传动轮转动连接,所述第一传送带的中部与机体固定连接,所述机体的内部左上方设置有第一清洗室,所述第一清洗室的内部上方设置有第一清洗装置,所述第一清洗装置的输入端与进水管连通,所述第一清洗室的内部下方设置有第一蓄水池,所述第一清洗室的下方设置有第二清洗室。该蚀刻设备的精密温控系统配备有一套完善的蚀刻系统,能够方便有效地进行蚀刻,并且该设备可以自动调节水流量,还可以根据水流量的大小来改变设备的温度,从而达到自动化控制的效果。
公开/授权文献
- CN111176345A 一种蚀刻设备的精密温控系统 公开/授权日:2020-05-19