- 专利标题： 一种金属掩膜条、金属掩膜板及其制作方法以及玻璃光罩
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申请号： CN202010106326.8申请日： 2020-02-21
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公开(公告)号： CN111188008B公开(公告)日： 2021-03-23
- 发明人: 蒋谦 , 陈永胜
- 申请人： 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
- 申请人地址： 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道666号光谷生物创新园C5栋305室
- 专利权人： 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
- 当前专利权人： 武汉华星光电半导体显示技术有限公司
- 当前专利权人地址： 湖北省武汉市东湖新技术开发区高新大道666号光谷生物创新园C5栋305室
- 代理机构： 深圳紫藤知识产权代理有限公司
- 代理商 李新干
- 主分类号： C23C14/04
- IPC分类号： C23C14/04 ; C23C14/24
摘要：
本发明提供一种金属掩膜条、金属掩膜板及其制作方法以及玻璃光罩，该金属掩膜条包括：包括至少两个掩膜子部，所述掩膜子部包括：不透光区域，设于所述金属掩膜条的其中一端；复用区域，位于所述金属掩膜条的长度的预设分界线的设定侧，所述设定侧与所述不透光区域位于同一侧；至少一透光区域，所述透光区域位于所述不透光区域和所述复用区域之间。本发明的金属掩膜条、金属掩膜板及其制作方法以及玻璃光罩，能够提高生产效率以及降低生产成本。
公开/授权文献
- CN111188008A 一种金属掩膜条、金属掩膜板及其制作方法以及玻璃光罩 公开/授权日：2020-05-22
IPC分类:
