本发明涉及大型特高压充油设备注油领域，具体涉及一种大型特高压充油设备真空注油系统及工艺流程。包括油槽车和换流变压器，所述油槽车与换流变压器之间设置有两重特高压全封闭式真空注油滤油处理系统，分别为一级真空注油滤油处理系统和二级真空注油滤油处理系统，一油槽车、一级真空注油滤油处理系统、二级真空注油滤油处理系统和换流变压器依次安装连接。本系统采用封闭式真空注油、滤油处理系统，该系统具有操作简单，易于现场搭建，工作效率高，对环境污染小的特点，在绝缘油各项指标和油温等方式均优于传统现有注油、滤油处理方式。