相对于对象物使第一移动体和第二移动体直线移动的装置及方法
摘要:
本发明:经导轨引导而直线移动的第一基体、第二基体(10、20);沿着移动方向以规定间距设有刻度(34)的线性标度尺(33);以及装设于第一基体、第二基体(10、20)的第一编码器头、第二编码器头(17、27);且一面将第一编码器头、第二编码器头(17、27)的间隔保持于规定间隔a而使第一基体、第二基体(10、20)沿着导轨移动,一面逐次利用第一编码器头、第二编码器头(17、27)来检测第一编码器头、第二编码器头(17、27)所处的第一刻度编号B1(n)、第二刻度编号B2(n),根据规定间隔a与第一刻度编号B1(n)和第二刻度编号B2(n)之间的标度尺上的距离A(n)的比率,控制第一基体、第二基体(10、20)的移动量。
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