发明公开
- 专利标题: 相对于对象物使第一移动体和第二移动体直线移动的装置及方法
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申请号: CN201880066585.3申请日: 2018-08-28
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公开(公告)号: CN111213225A公开(公告)日: 2020-05-29
- 发明人: 瀬山耕平 , 歌野哲弥 , 野口勇一郎
- 申请人: 株式会社新川
- 申请人地址: 日本东京武藏村山市伊奈平二丁目51番地之1
- 专利权人: 株式会社新川
- 当前专利权人: 株式会社新川
- 当前专利权人地址: 日本东京武藏村山市伊奈平二丁目51番地之1
- 代理机构: 北京同立钧成知识产权代理有限公司
- 代理商 杨文娟; 臧建明
- 优先权: 2017-163110 2017.08.28 JP
- 国际申请: PCT/JP2018/031737 2018.08.28
- 国际公布: WO2019/044816 JA 2019.03.07
- 进入国家日期: 2020-04-13
- 主分类号: H01L21/60
- IPC分类号: H01L21/60 ; H01L21/52 ; H01L21/67 ; H05K13/04
摘要:
本发明:经导轨引导而直线移动的第一基体、第二基体(10、20);沿着移动方向以规定间距设有刻度(34)的线性标度尺(33);以及装设于第一基体、第二基体(10、20)的第一编码器头、第二编码器头(17、27);且一面将第一编码器头、第二编码器头(17、27)的间隔保持于规定间隔a而使第一基体、第二基体(10、20)沿着导轨移动,一面逐次利用第一编码器头、第二编码器头(17、27)来检测第一编码器头、第二编码器头(17、27)所处的第一刻度编号B1(n)、第二刻度编号B2(n),根据规定间隔a与第一刻度编号B1(n)和第二刻度编号B2(n)之间的标度尺上的距离A(n)的比率,控制第一基体、第二基体(10、20)的移动量。
公开/授权文献
- CN111213225B 相对于对象物使第一和第二移动体直线移动的装置及方法 公开/授权日:2023-07-18
IPC分类: