发明公开
- 专利标题: 一种PZT驱动微间隙标准具制作方法
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申请号: CN201811444596.9申请日: 2018-11-29
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公开(公告)号: CN111230310A公开(公告)日: 2020-06-05
- 发明人: 吴砺 , 贺坤 , 方向一
- 申请人: 福州高意光学有限公司
- 申请人地址: 福建省福州市晋安区福新东路253号中航技工业小区
- 专利权人: 福州高意光学有限公司
- 当前专利权人: 福州高意光学有限公司
- 当前专利权人地址: 福建省福州市晋安区福新东路253号中航技工业小区
- 代理机构: 福州君诚知识产权代理有限公司
- 代理商 戴雨君
- 主分类号: B23K26/362
- IPC分类号: B23K26/362 ; B24B7/16
摘要:
本发明涉及一种PZT驱动微间隙标准具制作方法,包括以下步骤:1)刻槽:利用飞秒激光分别在第一光纤、第二光纤和第三光纤的一端面刻蚀出第一微平凹槽、第二微平凹槽和第三微球形凹槽;2)制光学表面:通过微熔或者抛光分别将第一微平凹槽、第二微平凹槽和第三微球形凹槽的表面制成光学级的光学表面;3)镀膜:对第一微平凹槽、第二光纤的另一端面、第二微平凹槽和第三微球形凹槽镀膜;4)抛光:对第一光纤、第二光纤和第三光纤的一端面进行抛光;5)熔接:将抛光后的第一光纤与第二光纤的一端面熔接成一体;6)制具:将第三光纤的一端面间隙设置在第二光纤的另一端面,第三光纤由PZT驱动器带动沿光路方向微移动以微调节间隙大小,第二微平凹槽的HR膜面与第三微球形凹槽的HR膜面构成平凹结构光纤标准具的谐振腔。
公开/授权文献
- CN111230310B 一种PZT驱动微间隙标准具制作方法 公开/授权日:2022-05-13