红外滤光装置及其制备方法、红外气体传感器
Abstract:
本发明实施例提供一种红外滤光装置及其制备方法、红外气体传感器,涉及传感器技术领域,可以使红外滤光装置应用到红外传感器上时,能够检测多种复合气体的浓度,该红外滤光装置包括:第一衬底基板;所述第一衬底基板包括多个间隔分布的中空部;设置在第一衬底基板上的多个红外滤光片;一个红外滤光片遮挡至少一个所述中空部,多个所述红外滤光片包括至少两种类型的红外滤光片,不同类型的红外滤光片分别用于吸收在不同气体的红外吸收峰波段的光。
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