- 专利标题： 一种聚焦离子束清理透射电子显微镜光阑的方法
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申请号： CN202010067583.5申请日： 2020-01-20
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公开(公告)号： CN111266368A公开(公告)日： 2020-06-12
- 发明人: 魏大庆 , 邹永纯 , 杜青 , 郭舒 , 张宝友 , 来忠红
- 申请人： 哈尔滨工业大学
- 申请人地址： 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
- 专利权人： 哈尔滨工业大学
- 当前专利权人： 哈尔滨工业大学
- 当前专利权人地址： 黑龙江省哈尔滨市南岗区西大直街92号
- 代理机构： 哈尔滨市松花江专利商标事务所
- 代理商 岳泉清
- 主分类号： B08B7/00
- IPC分类号： B08B7/00 ; H01J37/09
摘要：
一种聚焦离子束清理透射电子显微镜光阑的方法，本发明涉及清理透射电子显微镜光阑的方法。本发明要解决现有透射电子显微镜中的光阑污染及堵塞后无法清理的问题。方法：一、透射电子显微镜光阑固定与区域观察；二、透射电子显微镜光阑粗加工；三、透射电子显微镜光阑细加工；四、透射电子显微镜光阑精加工，即完成聚焦离子束清理透射电子显微镜光阑的方法。本发明适用于清理透射电子显微镜光阑。
公开/授权文献
- CN111266368B 一种聚焦离子束清理透射电子显微镜光阑的方法 公开/授权日：2020-09-22