本发明是电子行业含氟废水深度处理及回用系统和工艺，系统包括通过管道依次连接的调节池、第一多介质过滤器、活性炭过滤器、软化装置、过滤水箱、保安过滤器、RO系统、含氟废水暂存池、高浓度含氟废水一级化混系统、高浓度含氟废水二级深度除氟系统、第二多介质过滤器、除氟树脂塔和放流池，调节池连接含氟废水进管，放流池连接达标排放管。工艺包括：第一步：含氟废水调节系统；第二步：反渗透过滤系统；第三步：高浓度含氟废水一级化混系统；第四步：高浓度含氟废水二级深度除氟系统；第五步：除氟树脂系统。本发明的优点：采用RO浓缩、两级化混、投加除氟剂和除氟树脂联用的工艺实现了电子行业含氟废水深度处理和回收利用的目的。