一种GIL硬质扣罩氦质谱真空动态检漏的试验装置及方法
Abstract:
本发明公开了一种GIL硬质扣罩氦质谱真空动态检漏的试验装置,包括:硬质检漏罩、充/回收氦设备、辅助真空泵、氦质谱检漏仪、标准漏孔、连接气管及阀门、被试GIL单元、以及与被试GIL单元对接的工装短管道、工装封盖、工装小车支撑;所述硬质检漏罩采用金属密闭结构;所述充/回收氦设备通过第一连接气管与工装封盖对接;所述辅助真空泵通过第二连接气管与氦质谱检漏仪、硬质检漏罩连接;所述氦质谱检漏仪用于收集、检测通过密封面从被试GIL单元泄漏到硬质检漏罩内的氦气,解决GIL批量制造供货出厂试验时的定量化、高精度、高效气密性试验。该试验装置还具有占用空间小,操作简单,成本低的特点。
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