一种基于金属氧化物纳米晶的气体传感器及其使用方法
摘要:
本发明涉及一种基于金属氧化物纳米晶的气体传感器,包括衬底层,所述衬底层的上方设置有金属氧化物薄膜层,所述金属氧化物薄膜层的上设置有多孔材料层,所述多孔材料层的上方设置有金属氧化纳米晶层;当待测气体与传感器接触时,气体分子与更多的氧负离子反应,生成更多的自由电子,这些自由电子返回金属氧化物纳米晶与金属氧化物薄膜层,传感器对红外光的折射率发生剧烈变化,从而导致局域表面等离激元共振波长发生剧烈移动,通过局域表面等离激元共振波长的移动,就可以实现气体分子的探测。
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