发明公开
- 专利标题: 一种基于金属氧化物纳米晶的气体传感器及其使用方法
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申请号: CN202010145447.3申请日: 2020-03-03
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公开(公告)号: CN111272701A公开(公告)日: 2020-06-12
- 发明人: 刘黎明 , 惠裕充 , 迟锋 , 易子川 , 张智
- 申请人: 电子科技大学中山学院
- 申请人地址: 广东省中山市石岐区学院路1号
- 专利权人: 电子科技大学中山学院
- 当前专利权人: 电子科技大学中山学院
- 当前专利权人地址: 广东省中山市石岐区学院路1号
- 代理机构: 重庆萃智邦成专利代理事务所
- 代理商 舒梦来
- 主分类号: G01N21/41
- IPC分类号: G01N21/41 ; G01N21/63
摘要:
本发明涉及一种基于金属氧化物纳米晶的气体传感器,包括衬底层,所述衬底层的上方设置有金属氧化物薄膜层,所述金属氧化物薄膜层的上设置有多孔材料层,所述多孔材料层的上方设置有金属氧化纳米晶层;当待测气体与传感器接触时,气体分子与更多的氧负离子反应,生成更多的自由电子,这些自由电子返回金属氧化物纳米晶与金属氧化物薄膜层,传感器对红外光的折射率发生剧烈变化,从而导致局域表面等离激元共振波长发生剧烈移动,通过局域表面等离激元共振波长的移动,就可以实现气体分子的探测。