- 专利标题: 一种液晶基板玻璃研磨幅清洗装置及研磨装置
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申请号: CN202010075643.8申请日: 2020-01-22
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公开(公告)号: CN111282882B公开(公告)日: 2021-07-27
- 发明人: 李青 , 李赫然 , 王树利 , 穆美强 , 苏记华 , 邱大战 , 申昊 , 时伟娜 , 付冬伟 , 马慧霞
- 申请人: 郑州旭飞光电科技有限公司 , 东旭光电科技股份有限公司 , 石家庄东旭光电装备技术有限公司
- 申请人地址: 河南省郑州市经济技术开发区经南三路66号; ;
- 专利权人: 郑州旭飞光电科技有限公司,东旭光电科技股份有限公司,石家庄东旭光电装备技术有限公司
- 当前专利权人: 郑州旭飞光电科技有限公司,东旭光电科技股份有限公司河北光兴半导体技术有限公司
- 当前专利权人地址: 河南省郑州市经济技术开发区经南三路66号; ;
- 代理机构: 北京连和连知识产权代理有限公司
- 代理商 李红萧
- 主分类号: B08B3/02
- IPC分类号: B08B3/02 ; B08B5/02 ; B08B11/04 ; B08B13/00 ; B24B55/06
摘要:
一种液晶基板玻璃研磨幅清洗装置及研磨装置,包括动能供给机构和喷嘴机构,其中,所述动能供给机构为所述喷嘴机构提供混合二流体;所述喷嘴机构包括弓形喷头,所述弓形喷头包括喷头本体,以及分别由所述喷头本体的两端延伸而出的第一支腿和第二支腿;所述喷头本体上设置有多个喷射孔,所述喷射孔的延长线经过基板玻璃研磨幅的中心。本发明通过在基板玻璃研磨幅位置增加二流体喷嘴,将洁净压缩空气与纯水混合后形成二流体喷射至研磨幅表面,将研磨幅凹坑内的颗粒吹出来,经过清洗工序后将研磨幅清洗干净,降低基板玻璃表面颗粒度,提高产品品质。
公开/授权文献
- CN111282882A 一种液晶基板玻璃研磨幅清洗装置及研磨装置 公开/授权日:2020-06-16
IPC分类: