本发明旨在提供一种适用于高温高频条件下的阻抗测量方法，包括以下步骤：A、将待测材料制成圆形薄片状的样品片，将样品片夹持于同轴结构的夹具的内部，将夹具的一端通过数据线与矢量网络分析仪的接口连接，通过矢量网络分析仪测量得到夹持样品片的夹具的整体反射参数，计算得到夹具本身的阻抗值，计算得到的夹持样品片的夹具的整体阻抗值；B、计算得到样品片的阻抗值；C、根据样品片的阻抗值计算得到样品片的反射参数；D、预设补偿修正公式，计算得到补偿修正后的样品片的复介电常数；E、根据补偿修正后的样品片的复介电常数计算得到样品片的最终阻抗。该方法克服现有技术缺陷，具有测量误差小、测量精度高的特点。