发明授权
- 专利标题: 砷化镓晶体减薄用砂轮、制备方法及应用
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申请号: CN202010289625.X申请日: 2020-04-14
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公开(公告)号: CN111360708B公开(公告)日: 2021-04-02
- 发明人: 王礼华 , 张高亮 , 赵延军 , 钱灌文 , 曹剑锋
- 申请人: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
- 申请人地址: 河南省郑州市高新技术开发区梧桐街121号
- 专利权人: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
- 当前专利权人: 郑州磨料磨具磨削研究所有限公司
- 当前专利权人地址: 河南省郑州市高新技术开发区梧桐街121号
- 代理机构: 郑州优盾知识产权代理有限公司
- 代理商 王红培; 郑园
- 主分类号: B24D3/32
- IPC分类号: B24D3/32 ; B24D3/34 ; B24D18/00 ; C08J9/10 ; C08L79/08 ; C08K3/00 ; C08K3/04 ; C08K3/16 ; C08K3/30 ; C08K3/22
摘要:
本发明提供了一种砷化镓晶体减薄用砂轮、制备方法及应用,砂轮具有多孔结构,由以下重量百分比的原料制成:金刚石磨料10‑35%、聚酰亚胺树脂粉15‑42%、发泡剂5‑20%、氟化钙5‑20%、二硫化钼3‑15%、白刚玉8‑30%、氧化锌5‑12%。本发明砂轮为有多孔结构,多孔结构建立的结合剂桥,在磨削时产生有效断裂,砂轮自锐性好,减少修整频次。降低砷化镓晶片表面损伤层,为后续抛光工序减轻压力,提高周期生产效率。砂轮体系中添加二硫化钼固体润滑剂材料,可以降低砂轮摩擦系数,从而有效降低磨削热,减小工件烧伤的概率,提高砷化镓晶片表面质量。
公开/授权文献
- CN111360708A 砷化镓晶体减薄用砂轮、制备方法及应用 公开/授权日:2020-07-03