砷化镓晶体减薄用砂轮、制备方法及应用
摘要:
本发明提供了一种砷化镓晶体减薄用砂轮、制备方法及应用,砂轮具有多孔结构,由以下重量百分比的原料制成:金刚石磨料10‑35%、聚酰亚胺树脂粉15‑42%、发泡剂5‑20%、氟化钙5‑20%、二硫化钼3‑15%、白刚玉8‑30%、氧化锌5‑12%。本发明砂轮为有多孔结构,多孔结构建立的结合剂桥,在磨削时产生有效断裂,砂轮自锐性好,减少修整频次。降低砷化镓晶片表面损伤层,为后续抛光工序减轻压力,提高周期生产效率。砂轮体系中添加二硫化钼固体润滑剂材料,可以降低砂轮摩擦系数,从而有效降低磨削热,减小工件烧伤的概率,提高砷化镓晶片表面质量。
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