Invention Grant
- Patent Title: 显示面板及其制备方法
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Application No.: CN202010188760.5Application Date: 2020-03-17
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Publication No.: CN111370311BPublication Date: 2021-08-03
- Inventor: 王建刚
- Applicant: 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
- Applicant Address: 广东省深圳市光明新区公明街道塘明大道9-2号
- Assignee: 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
- Current Assignee: 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
- Current Assignee Address: 广东省深圳市光明新区公明街道塘明大道9-2号
- Agency: 深圳紫藤知识产权代理有限公司
- Agent 刁文魁
- Main IPC: H01L21/336
- IPC: H01L21/336 ; H01L29/786
Abstract:
本申请公开了一种显示面板及其制备方法，所述显示面板的制备方法包括以下步骤：栅极层制备步骤、有源层制备步骤、刻蚀阻挡层制备步骤以及源漏极层制备步骤，所述有源层制备步骤包括半导体层制备步骤以及第一图案化处理步骤。本发明的技术效果在于，通过重复使用源漏极光罩，搭配Lift off技术，实现具有蚀刻阻挡层器件的制备，降低掩膜板成本。
Public/Granted literature
- CN111370311A 显示面板及其制备方法 Public/Granted day:2020-07-03
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IPC分类:
