具有加热器的集成光电器件
Abstract:
本公开的各实施例涉及具有加热器的集成光电器件。公开了集成光电器件的结构以及制造和操作方法,其促进直接加热二极管或波导结构以调节器件的温度,同时允许电触点靠近器件放置以减小电阻。实施例尤其包括异质电吸收调制器,异质电吸收调制器包括放置在形成于SOI基板的器件层中的波导上方的化合物半导体二极管结构。
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