发明授权
CN111399166B 预调整设备、预调整方法及曝光设备组装方法
失效 - 权利终止
- 专利标题： 预调整设备、预调整方法及曝光设备组装方法
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申请号： CN202010502706.3申请日： 2020-06-05
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公开(公告)号： CN111399166B公开(公告)日： 2020-09-08
- 发明人: 蔡志国 , 江俊龙
- 申请人： 苏州微影激光技术有限公司
- 申请人地址： 江苏省苏州市高新区火炬路85号
- 专利权人： 苏州微影激光技术有限公司
- 当前专利权人： 苏州微影激光技术有限公司
- 当前专利权人地址： 江苏省苏州市高新区火炬路85号
- 代理机构： 苏州威世朋知识产权代理事务所
- 代理商 沈晓敏
- 主分类号： G02B7/09
- IPC分类号： G02B7/09
摘要：
本发明揭示了一种预调整设备、预调整方法及曝光设备组装方法，镜头模组用于曝光设备，镜头模组包括镜头安装底板及多个镜头，多个镜头可拆卸地安装于镜头安装底板上，曝光设备包括底座、平行设置于底座上的两个支架、连接两个支架的横梁以及镜头模组，镜头模组安装于横梁上。本发明提出了一种可独立预调整的镜头模组，后续再将预调整之后的镜头模组组装至曝光设备中，可大大降低整机装配校验时间，且便于镜头的调整操作。
公开/授权文献
- CN111399166A 预调整设备、预调整方法及曝光设备组装方法 公开/授权日：2020-07-10
