一种测试钝化接触结构的接触电阻率的方法
摘要:
本发明涉及一种测试钝化接触结构的接触电阻率的方法,包括:(1)、沿电池片上平行于副栅线的方向,对紧挨着副栅线两侧的钝化接触结构均进行开槽,形成凹槽结构;凹槽结构纵向延伸至硅衬底的内部;(2)、沿电池片上平行于主栅线方向,在含有凹槽结构的区域进行切割,得到测试样品;其中,测试样品中未包含主栅线;(3)、测试测试样品上不同副栅线间距对应的电阻值;(4)、以副栅线之间的间距为横坐标,副栅线之间的间距对应的电阻值作为纵坐标,绘制散点图,进行线性拟合,得到线性函数的斜率和截距;根据所述线性函数的斜率和截距,以及线传输模型计算出接触电阻率。
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