Invention Grant
- Patent Title: 电子部件
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Application No.: CN201880079648.9Application Date: 2018-11-28
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Publication No.: CN111448757BPublication Date: 2023-04-04
- Inventor: 小柳卓哉 , 岩本英树
- Applicant: 株式会社村田制作所
- Applicant Address: 日本京都府
- Assignee: 株式会社村田制作所
- Current Assignee: 株式会社村田制作所
- Current Assignee Address: 日本京都府
- Agency: 中科专利商标代理有限责任公司
- Agent 韩聪
- International Application: PCT/JP2018/043840 2018.11.28
- International Announcement: WO2019/116897 JA 2019.06.20
- Date entered country: 2020-06-10
- Main IPC: H03H9/25
- IPC: H03H9/25 ; H01L25/07 ; H10N30/87 ; H10N30/88 ; H10N30/853 ; H10N39/00
Abstract:
在将弹性波元件和半导体元件形成为一体来谋求小型化的同时,降低向支承构件的漏电流的产生。电子部件(1)具备支承构件(2)、压电膜(4)和IDT电极(5)。支承构件(2)以硅为主成分。压电膜(4)直接或者间接地设置在支承构件(2)上。IDT电极(5)包含多个电极指(51)。多个电极指(51)相互隔离地排列设置。IDT电极(5)设置在压电膜(4)的主面(41)。在将由IDT电极(5)的电极指间距规定的弹性波的波长设为λ的情况下,压电膜(4)的膜厚(L1)为3.5λ以下。在支承构件(2)中,高杂质浓度区域(27)与低杂质浓度区域(28)相比远离压电膜(4)。
Public/Granted literature
- CN111448757A 电子部件 Public/Granted day:2020-07-24
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