Invention Grant

电子部件
Abstract:
在将弹性波元件和半导体元件形成为一体来谋求小型化的同时,降低向支承构件的漏电流的产生。电子部件(1)具备支承构件(2)、压电膜(4)和IDT电极(5)。支承构件(2)以硅为主成分。压电膜(4)直接或者间接地设置在支承构件(2)上。IDT电极(5)包含多个电极指(51)。多个电极指(51)相互隔离地排列设置。IDT电极(5)设置在压电膜(4)的主面(41)。在将由IDT电极(5)的电极指间距规定的弹性波的波长设为λ的情况下,压电膜(4)的膜厚(L1)为3.5λ以下。在支承构件(2)中,高杂质浓度区域(27)与低杂质浓度区域(28)相比远离压电膜(4)。
Public/Granted literature
Patent Agency Ranking
0/0