一种高精度和高刚度的微调平台及其微调方法
摘要:
本发明提供一种高精度和高刚度的微调平台,包括动平台、静平台、中心定长支链、三组运动支链和驱动机构;所述中心定长支链一端与动平台铰接,另一端与静平台垂直固定连接;所述驱动机构的数量与运动支链的数量相等,并均匀布设在静平台周向;每组所述运动支链分别与动平台、静平台和驱动机构连接;每组运动支链与中心定长支链形成闭环运动结构,实现驱动机构驱动运动支链以控制动平台的微调运动。本发明还提供一种可实现动平台微小运动高精准控制的微调方法。本发明高精度和高刚度的微调平台结构简单和实用性强,该微调平台不仅可增大结构刚度,而且可提高动平台的运动精度,实现动平台微小运动的精准控制。
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