发明授权
- 专利标题: 碳化硅晶体的生长装置及其制备方法
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申请号: CN202010357948.8申请日: 2020-04-29
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公开(公告)号: CN111455457B公开(公告)日: 2021-09-21
- 发明人: 徐良 , 杨新鹏 , 蓝文安 , 刘建哲 , 余雅俊 , 夏建白 , 李京波 , 郭炜 , 叶继春
- 申请人: 金华博蓝特电子材料有限公司
- 申请人地址: 浙江省金华市婺城区秋滨街道南二环西路2688号1#厂房1楼南侧
- 专利权人: 金华博蓝特电子材料有限公司
- 当前专利权人: 浙江富芯微电子科技有限公司
- 当前专利权人地址: 浙江省金华市婺城区秋滨街道南二环西路2688号1#厂房1楼南侧
- 代理机构: 北京辰权知识产权代理有限公司
- 代理商 佟林松
- 主分类号: C30B23/00
- IPC分类号: C30B23/00 ; C30B29/36
摘要:
本发明涉及一种碳化硅晶体的生长装置及其制备方法,其中生长装置包括坩埚、安装有籽晶的籽晶座、石墨过滤板、搅拌装置、顶部加热器和底部加热器,籽晶座、石墨过滤板和搅拌装置均位于坩埚内,其中籽晶座固定于坩埚的顶部,且籽晶向下设置,石墨过滤板位于坩埚的中间位置,并将坩埚分为上半部和下半部,搅拌装置位于下半部,顶部加热器和底部加热器均设置于坩埚外;制备方法包括利用该生长装置进行碳化硅晶体生长的步骤。本发明的生长装置及其制备方法制备的碳化硅杂质少、纯度高、不存在包裹物缺陷,且原料利用率高,节约成本。
公开/授权文献
- CN111455457A 碳化硅晶体的生长装置及其制备方法 公开/授权日:2020-07-28