碳化硅晶体的生长装置及其制备方法
摘要:
本发明涉及一种碳化硅晶体的生长装置及其制备方法,其中生长装置包括坩埚、安装有籽晶的籽晶座、石墨过滤板、搅拌装置、顶部加热器和底部加热器,籽晶座、石墨过滤板和搅拌装置均位于坩埚内,其中籽晶座固定于坩埚的顶部,且籽晶向下设置,石墨过滤板位于坩埚的中间位置,并将坩埚分为上半部和下半部,搅拌装置位于下半部,顶部加热器和底部加热器均设置于坩埚外;制备方法包括利用该生长装置进行碳化硅晶体生长的步骤。本发明的生长装置及其制备方法制备的碳化硅杂质少、纯度高、不存在包裹物缺陷,且原料利用率高,节约成本。
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