发明授权
CN1114629C 含不饱和键支链的共聚物及其光致抗蚀剂组合物
失效 - 权利终止
- 专利标题： 含不饱和键支链的共聚物及其光致抗蚀剂组合物
- 专利标题（英）： Copolymer containing unsaturated bond branched chain and its photoresist composition
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申请号： CN99126266.2申请日： 1999-12-22
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公开(公告)号： CN1114629C公开(公告)日： 2003-07-16
- 发明人: 宋清潭 , 杨胜俊 , 刘宜桦
- 申请人： 财团法人工业技术研究院 , 长春人造树脂厂股份有限公司
- 申请人地址： 台湾省新竹县竹东镇
- 专利权人： 财团法人工业技术研究院,长春人造树脂厂股份有限公司
- 当前专利权人： 财团法人工业技术研究院,长春人造树脂厂股份有限公司
- 当前专利权人地址： 台湾省新竹县竹东镇
- 代理机构： 隆天国际知识产权代理有限公司
- 代理商 郑霞; 杨淑媛
- 主分类号： C08F222/08
- IPC分类号： C08F222/08 ; C08F220/02 ; G03F7/027
摘要：
一种可作为感光性树脂的含不饱合键支链的共聚物，其是含不饱合键的单体和含不饱合键的酸酐单体的共聚物，该共聚物中有0.01至100摩尔百分比的酸酐官能团与含不饱合键的醇类经酯化开环反应而单酯化，并产生羧酸基团，该共聚物中有0.01至100摩尔百分比的羧酸基团被环氧乙基化合物经环氧基开环反应而成为酯基。本发明还涉及含该共聚物的光致抗蚀剂组合物及其在印刷电路板制程中的应用，其具有良好的光敏性、解析度和耐电镀特性。
公开/授权文献
- CN1303876A 含不饱和键支链的共聚物及其光致抗蚀剂组合物 公开/授权日：2001-07-18
IPC分类:
