发明公开
- 专利标题: 一种三维芯片封装结构及封装方法
-
申请号: CN202010501441.5申请日: 2020-06-04
-
公开(公告)号: CN111477613A公开(公告)日: 2020-07-31
- 发明人: 张恒运 , 蔡艳 , 余明斌 , 古元冬
- 申请人: 上海新微技术研发中心有限公司 , 上海工程技术大学
- 申请人地址: 上海市嘉定区城北路235号1号楼
- 专利权人: 上海新微技术研发中心有限公司,上海工程技术大学
- 当前专利权人: 上海新微技术研发中心有限公司,上海工程技术大学
- 当前专利权人地址: 上海市嘉定区城北路235号1号楼
- 代理机构: 上海光华专利事务所
- 代理商 佟婷婷
- 主分类号: H01L25/065
- IPC分类号: H01L25/065 ; H01L21/98 ; H01L23/367
摘要:
本发明提供一种三维芯片封装结构及封装方法,封装结构包括:封装基板;三维堆叠芯片组件,包括第一芯片组件及第二芯片组件,第一芯片组件的尺寸大于第二芯片组件的尺寸;热桥结构,形成于第一芯片组件上,与第二芯片组件间具有间距;散热盖组件,形成于封装基板上,热桥结构、第一芯片组件与散热盖组件之间热导通。本发明通过引入热桥结构,形成导热通路,有利于三维堆叠芯片的散热,大幅度降低底部芯片的散热热阻和温度。本发明的设计,还可以降低第一芯片的温差,从而能够大幅度降低热应力。热桥结构分担了原本施加到三维堆叠芯片上的散热器等的压力,从而使得封装受力更为均匀,结构更加稳定。本发明工艺简单,基本不影响现有的封装工艺流程和制程。
IPC分类: