- 专利标题: 一种基于扫描电镜微操控系统的原子力显微镜探针修饰方法
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申请号: CN202010411303.8申请日: 2020-05-15
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公开(公告)号: CN111505345B公开(公告)日: 2021-08-10
- 发明人: 马建立 , 李姮 , 孙伟皓 , 于洁 , 吴成伟 , 张伟 , 韩啸 , 马国军 , 吕永涛
- 申请人: 大连理工大学
- 申请人地址: 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号
- 专利权人: 大连理工大学
- 当前专利权人: 大连理工大学
- 当前专利权人地址: 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号
- 代理机构: 大连理工大学专利中心
- 代理商 李晓亮; 潘迅
- 主分类号: G01Q60/38
- IPC分类号: G01Q60/38
摘要:
一种基于扫描电镜微操控系统的原子力显微镜探针修饰方法,属于原子力显微镜的测量技术领域,包括以下步骤:准备待修饰的纳米颗粒;准备修饰过程中需要的胶水;准备探针;准备扫描电镜工作舱;采用扫描电镜微操控系统进行探针修饰;干燥探针。本发明的修饰过程可视,能选取特定尺寸和分散状态的纳米颗粒对待修饰探针进行修饰,实现修饰纳米颗粒状态可控;其次,可视操作能够明确修饰位置,将纳米颗粒精确修饰至待修饰探针针尖处,避免了“先修饰后观察”的现象,提高了探针的修饰效率。本发明操作简单易行,修饰成功率高,所得探针与颗粒间具有足够的强度用于原子力测试。
公开/授权文献
- CN111505345A 一种基于扫描电镜微操控系统的原子力显微镜探针修饰方法 公开/授权日:2020-08-07