- 专利标题： 具有主动温度控制的沉积处理系统及相关方法
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申请号： CN201880083166.0申请日： 2018-12-17
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公开(公告)号： CN111511959B公开(公告)日： 2022-11-04
- 发明人: 安格斯·麦克法登 , 杰森·瑞特
- 申请人： 泰科耐斯集团有限公司
- 申请人地址： 美国北卡罗莱纳州
- 专利权人： 泰科耐斯集团有限公司
- 当前专利权人： 泰科耐斯集团有限公司
- 当前专利权人地址： 美国北卡罗莱纳州
- 代理机构： 北京商专永信知识产权代理事务所
- 代理商 邬玥; 方挺
- 优先权： 62/608,182 20171220 US
- 国际申请： PCT/US2018/066066 2018.12.17
- 国际公布： WO2019/126066 EN 2019.06.27
- 进入国家日期： 2020-06-22
- 主分类号： C23C14/54
- IPC分类号： C23C14/54 ; C23C16/46 ; C23C16/52
摘要：
本技术的几个示例涉及在制造材料或薄膜期间主动控制腔室中的衬底的温度。在一些示例中，该方法可以包括冷却或加热衬底以使其温度在目标范围内，在衬底的表面上沉积材料，以及在沉积材料的同时控制衬底的温度。在一些示例中，控制衬底的温度可以包括通过在衬底上引导流体而从衬底去除热能以在整个沉积过程中将衬底的温度保持在目标范围内。
公开/授权文献
- CN111511959A 具有主动温度控制的沉积处理系统及相关方法 公开/授权日：2020-08-07
IPC分类:
