一种驱动振幅放大的主从质量微机械毛发陀螺仪
摘要:
本发明公开了的一种驱动振幅放大的主从质量微机械毛发陀螺仪,采用三层结构,具体包括第一层用于增大主质量块质量的铜制立柱毛发,第二层用于敏感科氏力的硅微传感器和第三层用于信号输入输出控制的硼基玻璃绝缘层;所述铜制立柱毛发通过微组装工艺粘合在硅微传感器中心位置,硅微传感器和硼基玻璃绝缘层通过标准的Si‑Glass阳极键合工艺键合在一起,硼基玻璃绝缘层上通过金属溅射工艺布置有Au电极及信号引线;所述第二层硅微传感器具体包括主质量块、从质量块和解耦框;解耦框布置在从质量块的内部并通过第一、二驱动耦合梁与从质量块相连;主质量块布置在解耦框的内部,并通过第一、二检测耦合梁与解耦框相连。
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