一种酚醛树脂光刻胶组合物及其制备方法
摘要:
本发明公开了一种酚醛树脂光刻胶组合物及其制备方法,涉及光刻胶制备领域,所述的酚醛树脂光刻胶组合物包括如下重量份数的原料组分:硅氧烷酚醛树脂5-15份、重氮萘醌磺酸酯类感光剂2-3份、流平剂0.2-0.4份、交联剂0.5-1份、溶剂50-100份;所述的硅氧烷酚醛树脂的结构式如式1所示。式1: 式1中,R1是C1-C6直链或支链烷基、C1-C6甲氧基、羧基、羟基、氧代、芳香基和硝基中的一种;R2是C1-C6直链或支链烷基、C1-C6甲氧基、羧基、羟基、氧代、芳香基和硝基中的一种;R3是C1-C6直链或支链烷基、C1-C6甲氧基、羧基、羟基、氧代、芳香基和硝基中的一种;m>80%,n≤5%,5%<p<10%。
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