发明公开
- 专利标题: 一种酚醛树脂光刻胶组合物及其制备方法
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申请号: CN202010448326.6申请日: 2020-05-25
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公开(公告)号: CN111538211A公开(公告)日: 2020-08-14
- 发明人: 王晓伟
- 申请人: 苏州理硕科技有限公司
- 申请人地址: 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城10栋102
- 专利权人: 苏州理硕科技有限公司
- 当前专利权人: 苏州理硕科技有限公司
- 当前专利权人地址: 江苏省苏州市工业园区金鸡湖大道99号苏州纳米城10栋102
- 代理机构: 北京酷爱智慧知识产权代理有限公司
- 代理商 王静
- 主分类号: G03F7/075
- IPC分类号: G03F7/075 ; G03F7/016 ; G03F7/004 ; C08G8/24
摘要:
本发明公开了一种酚醛树脂光刻胶组合物及其制备方法,涉及光刻胶制备领域,所述的酚醛树脂光刻胶组合物包括如下重量份数的原料组分:硅氧烷酚醛树脂5-15份、重氮萘醌磺酸酯类感光剂2-3份、流平剂0.2-0.4份、交联剂0.5-1份、溶剂50-100份;所述的硅氧烷酚醛树脂的结构式如式1所示。式1: 式1中,R1是C1-C6直链或支链烷基、C1-C6甲氧基、羧基、羟基、氧代、芳香基和硝基中的一种;R2是C1-C6直链或支链烷基、C1-C6甲氧基、羧基、羟基、氧代、芳香基和硝基中的一种;R3是C1-C6直链或支链烷基、C1-C6甲氧基、羧基、羟基、氧代、芳香基和硝基中的一种;m>80%,n≤5%,5%<p<10%。
公开/授权文献
- CN111538211B 一种酚醛树脂光刻胶组合物及其制备方法 公开/授权日:2023-04-21
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