本发明公开了一种通过改变钙钛矿表面终端来提高其湿度稳定性的方法，该方法利用有机无机杂化钙钛矿热分解分为多个步骤的特性，通过热处理工艺去除薄膜表面湿度稳定性差的有机终端，将薄膜转变为无机终端，从而大幅提升钙钛矿薄膜的湿度稳定性。其特征包括：合成结构为ABX3的钙钛矿薄膜，通过热处理工艺将薄膜表面的有机终端转变为无机终端来提高薄膜的湿度稳定性。本发明的操作简单易行，制备成本低廉，适用于制备高性能高稳定性的有机无机杂化卤化物钙钛矿薄膜，基于本发明制备的钙钛矿薄膜可广泛应用于光电材料与器件领域。