发明授权
- 专利标题: 一种压电元件分区极化装置
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申请号: CN202010452732.X申请日: 2020-05-26
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公开(公告)号: CN111554803B公开(公告)日: 2021-09-24
- 发明人: 王大志 , 王柱 , 赵奎鹏 , 袁玉恒 , 宗浩然
- 申请人: 大连理工大学
- 申请人地址: 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号
- 专利权人: 大连理工大学
- 当前专利权人: 大连理工大学
- 当前专利权人地址: 辽宁省大连市甘井子区凌工路2号
- 代理机构: 大连理工大学专利中心
- 代理商 李晓亮; 潘迅
- 主分类号: H01L41/257
- IPC分类号: H01L41/257
摘要:
本发明公开了一种压电元件分区极化装置,属于具有压电特性材料的极化技术领域。该装置包括分区电压调节模块、探针调节模块和极化控制模块;所述分区电压调节模块可以调节每个分区的极化电压,实现极化分区电场的独立控制;所述探针调节模块采用弹性伸缩探针配合探针定位支架的方法可实现多个百微米级微小电极的精确定位和同步极化;所述极化控制模块可以控制极化所需的总电压和极化温度的时间变化曲线。本发明实现了多分区极化电场的独立控制,能一次性同步极化多分区压电元件,避免了反复多次极化导致压电元件热退极化和分区极化强度不一致的问题;解决了传统方法中的难操作、难定位、极化区域单一等问题,提高了分区压电元件的极化质量。
公开/授权文献
- CN111554803A 一种压电元件分区极化装置 公开/授权日:2020-08-18
IPC分类: