发明公开
- 专利标题： 靶材坯料及其制作方法
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申请号： CN202010742998.8申请日： 2020-07-29
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公开(公告)号： CN111621753A公开(公告)日： 2020-09-04
- 发明人: 韩刚 , 程兴德 , 韩启航
- 申请人： 江苏集萃先进金属材料研究所有限公司
- 申请人地址： 江苏省苏州市常熟市高新技术产业开发区贤士路88号7号楼
- 专利权人： 江苏集萃先进金属材料研究所有限公司
- 当前专利权人： 江苏集萃先进金属材料研究所有限公司
- 当前专利权人地址： 江苏省苏州市常熟市高新技术产业开发区贤士路88号7号楼
- 代理机构： 北京集佳知识产权代理有限公司
- 代理商 吴敏
- 主分类号： C23C14/34
- IPC分类号： C23C14/34 ; B22F3/15
摘要：
一种靶材坯料及其制作方法，靶材坯料制作方法包括：提供靶材原料，所述靶材原料为颗粒状；在所述靶材原料表面形成还原层，所述还原层含碳；对所述靶材原料进行脱氧处理，以便通过所述还原层去除所述靶材原料中的氧；对经脱氧处理后的靶材原料进行烧结处理，形成靶材坯料。所述靶材坯料制作方法能够形成低氧含量的靶材坯料。
公开/授权文献
- CN111621753B 靶材坯料及其制作方法 公开/授权日：2020-11-17
IPC分类:
